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J-GLOBAL ID：200902245134454916   Reference number：03A0437206

Lead zirconate titanate films for d₃₃ mode cantilever actuators

d₃₃モード片持梁アクチュエータのためのジルコン酸チタン酸鉛膜

Author (6)： ZHANG Q Q (Geospace Res. Inc., CA, USA) ,  GROSS S J (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  TADIGADAPA S (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  JACKSON T N (Pennsylvania State Univ., PA, USA) ,  DJUTH F T (Geospace Res. Inc., CA, USA) ,  TROLIER-MCKINSTRY S (Pennsylvania State Univ., PA, USA)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： A105  Issue： 1  Page： 91-97  Publication year： Jun. 15, 2003 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cantilever beam ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Terms in the title (3)： 片持梁 ,  アクチュエータ ,  ジルコン酸チタン酸鉛