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J-GLOBAL ID：200902246783432316   Reference number：05A1021582

Uncertainty Evaluation for the Low Thermal Expansion Glass Gauge Blocks by Optical Interferometry

低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価

Author (3)： BITO YOICHI (産業技術総合研) ,  OSAWA SONKO (産業技術総合研) ,  TAKATSUJI TOSHIYUKI (産業技術総合研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 71  Issue： 5  Page： 602-605  Publication year： May. 05, 2005 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *block gauge ,...
Semi thesaurus term： 低熱膨張ガラス

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (4)：

• 尾藤洋一. 3本の安定化レーザを用いた長尺ブロックゲージ干渉計の開発. 精密工学会誌. 2002, 68, 4, 744
• BITOU, Y. Compact I_2-stabilized frequency doubled Nd : YAG laser for long gauge block interferometer. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 5, 2867
• BITOU, Y. Rubidium stabilized diode laser for high precision interferometer. Opt. Eng. 2004, 43, 4, 900
• 飯塚幸三監修. 計測における不確かさの表現のガイド. 1996

Terms in the title (9)： 低熱膨張 ,  ガラス ,  長尺 ,  ブロックゲージ ,  光波 ,  干渉計 ,  校正 ,  不確かさ ,  評価