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J-GLOBAL ID：200902246840396291   Reference number：05A0487356

Nano-crystalline Carbon Structures Using Plasma Processes

プラズマ科学の開発と応用 プラズマを用いるナノ結晶炭素構造体研究の新展開

Author (5)： HASEGAWA MASATAKA (産業技術総合研) ,  TSUGAWA KAZUO (産業技術総合研) ,  ISHIHARA MASATO (産業技術総合研) ,  NAKAMURA TAKAKO (産業技術総合研) ,  KOGA YOSHINORI (産業技術総合研)
Material： 化学工業  (Chemical Industry)
Volume： 56  Issue： 6  Page： 440-446  Publication year： Jun. 01, 2005 
JST Material Number： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...
Semi thesaurus term： plasma reaction

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JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (9)： プラズマ ,  科学 ,  開発 ,  応用 ,  ナノ結晶 ,  炭素 ,  構造体 ,  研究 ,  展開