Art

J-GLOBAL ID：200902247656464299   Reference number：07A0647527

r.f.スパッタ法によって作製したCr-B-N薄膜の組織形態

Author (1)： SAKAMOTO YOSHINORI (富山工高専)
Material： 大阪大学接合科学研究所共同研究報告
Volume： 2004  Page： 107-108  Publication year： Mar. 2006 
JST Material Number： L3949A  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： スパッタ法 ,  作製 ,  Cr ,  薄膜 ,  組織 ,  形態