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J-GLOBAL ID：200902248256578291   Reference number：08A0611278

Room Temperature Impact Consolidation (RTIC) of Fine Ceramic Powder by Aerosol Deposition Method and Applications to Microdevices

エアロゾル蒸着による微細セラミック粉末の室温衝撃圧密(RTIC)とマイクロデバイスへの応用

Author (1)： AKEDO Jun (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Journal of Thermal Spray Technology  (J Therm Spray Technol)
Volume： 17  Issue： 2  Page： 181-198  Publication year： Jun. 2008 
JST Material Number： W0482A  ISSN： 1059-9630  CODEN： JTTEE5  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *vapor deposition ,  evaporated film ,  *ceramic coating ,  *consolidation (ground) ,  impact stress ,  *alpha alumina ,  electric insulation ,  *lead zirconate titanate ,  permittivity ,  Elastic Modulus ,  solid state device ,  ceramics ,  powder ,  aerosol (suspended solids) ,  piezoelectricity ,  thick film technique ,  *dynamic powder compacting ,  optical element ,  ceramic membrane ,  piezoelectric device ,  piezoelectric constant
Semi thesaurus term： *PZT ,  *aerosol deposition method ,  microdevice

JST classification (2)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (8)： エアロゾル ,  蒸着 ,  セラミック粉末 ,  室温 ,  衝撃 ,  圧密 ,  マイクロデバイス ,  応用