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J-GLOBAL ID：200902250723768215   Reference number：04A0447926

Optical Properties of Acrylate-Based Negative-Type Photoresist and Its Application to Optical Waveguide Fabrication

アクリル酸塩系ネガティブ形フォトレジストの光学特性とその光導波路作製への応用

Author (3)： GUSTAFIK P ,  SUGIHARA O ,  OKAMOTO N
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 4B  Page： 2011-2014  Publication year： Apr. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *acrylic resin ,...

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JST classification (2)： Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A) ,  Optical waveguide,optical fibers,and fiber optics  (BD06030H)

Substance index (3)： Pentaerythritol ,  N-Methyldiethanolamine ,  Eosine

Reference (4)：

• 1) M. Kagami, K. Hasegawa and H. Ito: Appl. Opt. 36 (1997) 7700.
• 2) R. Bachelot, C. Ecoffet, D. Deloeil, P. Royer and D. J. Lougnot: Appl. Opt. 40 (2001) 5860.
• 3) P. Gustafik, O. Sugihara, H. Fujimura and N. Okamoto: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 2541.
• 4) S. J. Frisken: Opt. Lett. 18 (1993) 1035.

Terms in the title (6)： アクリル酸塩 ,  フォトレジスト ,  光学特性 ,  光導波路 ,  作製 ,  応用