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J-GLOBAL ID：200902250744772565   Reference number：05A0318558

Si含有ダイヤモンドライクカーボンによる高性能トライボコーティング技術の開発

Author (5)： TACHIKAWA HIDEO (豊田中研) ,  MORI HIROYUKI (豊田中研) ,  NAKANISHI KAZUYUKI (豊田中研) ,  HASEGAWA HIDEO (豊田中研) ,  FUNAKI YOSHIYUKI (日本電子工業 技術部)
Material： まてりあ  (Materia Japan)
Volume： 44  Issue： 3  Page： 245-247  Publication year： Mar. 20, 2005 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Substance index (2)： Tetramethylsilane ,  Methane

Reference (8)：

• AISENBERG, S. J. Appl. Phys. 1971, 42, 2953
• MORI, H. Surf. Coat. Tech. 2002, 149, 225
• 森広行. 表面技術協会第108回講演大会要旨集, 2003. 2003, 213
• 中西和之. 表面技術協会第108回講演大会要旨集, 2003. 2003, 213
• NAKANISHI, K. Proc. The International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, 2004, Apr., San Diego. 2004, 62

Terms in the title (3)： Si ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  開発