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J-GLOBAL ID：200902252394220931   Reference number：09A1129902

Improving Accuracy of Sample Surface Topography by Atomic Force Microscopy

原子間力顕微鏡による試料表面トポグラフィーの精度改良

Author (4)： XU Mingsheng (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  FUJITA Daisuke (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  ONISHI Keiko (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  MIYAZAWA Kunichi (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
Material： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (J Nanoscience Nanotechnology)
Volume： 9  Issue： 10  Page： 6003-6007  Publication year： Oct. 2009 
JST Material Number： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,  *topography ,  accuracy ,  chip ,  *image reconstruction ,  Microscopy ,  scanning electron microscope ,  shape effect ,  curvature ,  nanotechnology ,  *fullerene ,  nanostructure ,  whisker ,  *surface topography ,  nano-whisker

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (3)： 原子間力顕微鏡 ,  試料 ,  表面トポグラフィー