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J-GLOBAL ID：200902252694327479   Reference number：09A0754007

Control of Tribological Properties of Hard Thin Films with Femtosecond-Laser-Induced Nanostructuring

フェムト秒レーザー誘起ナノ構造による硬質薄膜のトライボロジー特性制御

Author (3)： YASUMARU NAOKI (福井工高専) ,  MIYAZAKI KENZO (京大 エネルギー理工学研) ,  KIUCHI JUNSUKE (アイテック)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 37  Issue： 7  Page： 504-508  Publication year： Jul. 15, 2009 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *laser beam machining ,  pulsed laser irradiation ,  *nanostructure ,  pulsed laser ,  hard ,  tribology ,  *DLC film ,  texturing ,  pattern formation ,  friction coefficient ,  precision machining ,  thermal effect ,  femtosecond laser
Semi thesaurus term： *DLC film ,  high strength

JST classification (3)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (24)：

• DONNET, C. Tribology of Diamond-Like Carbon Films. 2008
• BONSE, J. Appl. Phys. A. 1999, 69, S399
• BONSE, J. Appl. Phys. A. 2000, 71, 657
• DUMITRU, G. Diamond Rel. Mater. 2003, 12, 1034
• DUMITRU, G. Appl. Phys. A. 2005, 80, 283

Terms in the title (5)： フェムト秒レーザー ,  誘起 ,  ナノ構造 ,  硬質薄膜 ,  トライボロジー特性