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J-GLOBAL ID：200902255480434790   Reference number：03A0845747

超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究(第1報)-卓上研磨装置の試作と基本的研磨特性の評価-

Author (5)： SUZUKI HIROFUMI (豊橋技科大) ,  MIYAHARA MITSURU (豊橋技科大) ,  FURUSE AKIKO (豊橋技科大) ,  SHIBUYA HIDEO (豊橋技科大) ,  HORIUCHI TSUKASA (豊橋技科大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2003  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： 314  Publication year： Mar. 05, 2003 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *microlens ,...

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JST classification (2)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O)

Terms in the title (10)： 超音波 ,  援用 ,  マイクロ ,  非球面 ,  研磨 ,  研究 ,  研磨装置 ,  試作 ,  研磨特性 ,  評価