Art

J-GLOBAL ID：200902255514824207   Reference number：06A0284258

Generation of a Stable Vacuum Field by Using a Micro Capillary

キャピラリーを用いた安定な真空圧力場の作製

Author (5)： YOSHIDA HAJIME (産業技術総合研) ,  ARAI KENTA (産業技術総合研) ,  KOMATSU SAKAE (産業技術総合研) ,  AKIMICHI SATOSHI (産業技術総合研) ,  HIRATA MASAHIRO (産業技術総合研)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 49  Issue： 3  Page： 129-131  Publication year： Mar. 20, 2006 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum ,...
Semi thesaurus term： calibration ,...

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JST classification (1)： Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Reference (3)：

• Vacuum gauge-Calibration by direct comparison with a reference gauge. ISO/TS 3567
• 日本工業規格. 真空計校正方法. JIS Z8750
• 今井秀孝訳. 計測における不確かさの表現ガイド. 2000, 130

Terms in the title (4)： キャピラリー ,  真空圧 ,  力場 ,  作製