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J-GLOBAL ID：200902256988902485   Reference number：05A0764078

Effects of laser irradiation energy density on the properties of pulsed laser deposited ITO thin films

パルスレーザ堆積ITO薄膜の性質に及ぼすレーザ照射エネルギー密度の効果

Author (6)： ADURODIJA F.O. (Mount Allison Univ., N.B., CAN) ,  BRUENING R. (Mount Allison Univ., N.B., CAN) ,  ASIA I.O. (Ambrose Alli Univ., Ekpoma, NGA) ,  IZUMI H. (Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN) ,  ISHIHARA T. (Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN) ,  YOSHIOKA H. (Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN)
Material： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Solids and Surfaces)
Volume： A81  Issue： 5  Page： 953-957  Publication year： Oct. 2005 
JST Material Number： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *indium oxide ,...
Semi thesaurus term： ITO(solid solution)

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JST classification (3)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X)

Terms in the title (5)： パルスレーザ堆積 ,  ITO薄膜 ,  性質 ,  レーザ照射 ,  エネルギー密度