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J-GLOBAL ID：200902258397710270   Reference number：07A0202040

Motion Sensor using Polyurea Film

ポリ尿素圧電膜を用いたモーションセンサの検討

Author (4)： TABARU MASAYA (東京工大 精密工研) ,  NAKAZAWA MARIE (東京工大 精密工研) ,  NAKAMURA KENTARO (東京工大 精密工研) ,  UEHA SADAYUKI (東京工大 精密工研)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 106  Issue： 482(US2006 101-110)  Page： 1-6  Publication year： Jan. 19, 2007 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *piezoelectric material ,...
Semi thesaurus term： *motion sensor ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K)

Reference (12)：

• KWON, Kijin. A bulk-micromachined three-axis accelerometer using silicon direct bonding technology and polysilicon layer. Sens. Actuator A. 1998, 66, 250-255
• JONO, Keiji. Electrostatic Servo System for Multi-axis Accelerometers. Proc. IEEE, MEMS'94. 1994, 251-256
• OKADA, K. Tri-axial Piezoelectric Acceleromter. Proc. IEEE, Transducers'95. 1995, 566-569
• TAKAHASHI, Yoshikazu. Pyroelectricity in Poled Thin Films of Aromatic Polyurea Prepared by Vapor Deposition Polymerization. Jpn. J. Appl. Phys. 1989, 28, 12, L2245-L2247
• 高橋大三. ポリ尿素圧電薄膜による超音波送受特性の検討. 平成11年秋季日音講論集, Sept. 1999, 1019-1020

Terms in the title (3)： ポリ尿素 ,  圧電膜 ,  モーションセンサ