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J-GLOBAL ID：200902259888348161   Reference number：06A0471642

Integrated CMOS-MEMS With On-Chip Readout Electronics for High-Frequency Applications

高周波アプリケーション用のオンチップ読出しエレクトロニクスを持つ集積CMOS-MEMS

Author (9)： VERD J. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  URANGA A. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  TEVA J. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  LOPEZ J. L. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  TORRES F. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  ESTEVE J. (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  ABADAL G. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP) ,  PEREZ-MURANO F. (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  BARNIOL N. (Univ. Auta de Barcelona, Bellaterra, ESP)
Material： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Lett)
Volume： 27  Issue： 6  Page： 495-497  Publication year： Jun. 2006 
JST Material Number： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *CMOS structure ,...
Semi thesaurus term： electrical characteristic ,...

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JST classification (3)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Resonator  (NC04050Y)

Terms in the title (7)： 高周波 ,  アプリケーション ,  オンチップ ,  エレクトロニクス ,  集積 ,  CMOS ,  MEMS