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J-GLOBAL ID：200902261542671122   Reference number：08A0122397

To improve Reticle Re-Qualification process and reduce reticle recleaning frequency using efficient defect classification and defect tracking

効率的欠陥分類及び欠陥追跡を用いたレチクル再定量工程の改善とレチクル再洗浄頻度の低減

Author (5)： LU Eric Haodong (KLA-Tencor Corp., California, USA) ,  WANG Jim (KLA-Tencor Corp., Hsin-Chu, TWN) ,  BADONI Raj (KLA-Tencor Corp., California, USA) ,  CHEN Ellison (KLA-Tencor Corp., Hsin-Chu, TWN) ,  MA Weimin (KLA-Tencor Corp., California, USA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 6730  Issue： Pt.3  Page： 67303Q.1-67303Q.8  Publication year： 2007 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： classification ,  defect ,  *flaw inspection ,  *reticle ,  inspection
Semi thesaurus term： 欠陥分類 ,  reinspection

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 欠陥分類 ,  欠陥 ,  追跡 ,  レチクル ,  定量 ,  洗浄 ,  頻度