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J-GLOBAL ID：200902261805343303   Reference number：03A0310408

積層電極によるAlN薄膜の配向性の向上

Author (6)： AKIYAMA MORITO (産業技術総合研) ,  NAGAO KEIGO (宇部興産) ,  UENO NAOHIRO (産業技術総合研) ,  TATEYAMA HIROSHI (産業技術総合研) ,  HASHIMOTO CHISEN (宇部興産) ,  YAMADA TETSUO (宇部興産)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 50th  Issue： 2  Page： 691  Publication year： Mar. 27, 2003 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *aluminum nitride ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (3)： AlN ,  薄膜 ,  配向性