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J-GLOBAL ID：200902262390305849   Reference number：06A0697006

Ultra-smoothing of Solid Surface by Angled Irradiation of Gas Cluster Ion Beam~Application to Photonic Crystals and Ultra-smoothing Mechanism~

ガスクラスターイオンビーム角度照射による固体表面の超平坦化~フォトニック結晶への応用と超平坦化メカニズム~

Author (3)： SUZUKI AKIKO (日本航空電子工業) ,  BOURELLE Emmanuel (日本航空電子工業) ,  SATO AKINOBU (日本航空電子工業)
Material： 航空電子技報(CD-ROM)  (JAE Technical Report (CD-ROM))
Issue： 29  Page： ROMBUNNO.1  Publication year： Mar. 31, 2006 
JST Material Number： X0671B  ISSN： 0910-5689  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： photonic band gap ,...

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JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (6)： ガスクラスターイオンビーム ,  固体表面 ,  平坦化 ,  フォトニック結晶 ,  応用 ,  メカニズム