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J-GLOBAL ID：200902263627132770   Reference number：05A0740291

Electronic- and atomic-level control of chemical reactions in semiconductor processes-Development of multi-physics quantum chemical molecular dynamics simulator-

「応用物理における計算科学の現状と将来展望」半導体プロセスにおける化学反応の電子・原子レベル制御-量子分子動力学法に基づくマルチフィジックスシミュレーターの開発-

Author (6)： KUBO MOMOJI (東北大 大学院工学研究科) ,  KUBO MOMOJI (JST-PREST) ,  TSUBOI HIDEYUKI (東北大 大学院工学研究科) ,  KOYAMA MICHIHISA (東北大 大学院工学研究科) ,  MIYAMOTO AKIRA (東北大 大学院工学研究科) ,  MIYAMOTO AKIRA (東北大 未来科学技術共同研究セ)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 74  Issue： 8  Page： 1052-1059  Publication year： Aug. 10, 2005 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *semiconductor process ,...
Semi thesaurus term： *tight binding approximation

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Computer simulation  (JE11000H)

Reference (7)：

• 久保百司. 表面科学の基礎と応用. 2004, 530
• 久保百司. 次世代エレクトロニクス材料用新薄膜作製技術. 2003, 10
• KUBO, M. Appl. Surf. Sci. 2004, 223, 188
• ELANANY, M. J. Phys. Chem. B. 2003, 107, 1518
• SASATA, K. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 1859

Terms in the title (12)： 応用物理 ,  計算 ,  科学 ,  現状 ,  将来展望 ,  半導体プロセス ,  化学反応 ,  電子 ,  原子 ,  レベル制御 ,  量子分子動力学 ,  開発