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J-GLOBAL ID：200902263800910768   Reference number：06A0183374

High Temperature and High Pressure Response of Aluminum Nitride Thin Films Prepared on Inconel Substrates

インコネル基板上に作製した配向性AlN薄膜の高温高圧応答性

Author (5)： OISHI YASUNOBU (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  KISHI KAZUSHI (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  AKIYAMA MORITO (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  NOMA HIROAKI (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ) ,  OSHIMA ICHIRO (産業技術総合研 実環境計測・診断研究ラボ)
Material： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 114  Issue： 1327  Page： 296-298  Publication year： Mar. 01, 2006 
JST Material Number： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pressure sensor ,...

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JST classification (2)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Reference (10)：

• 1) Nakatsuka, T., Kadoike, T., Hoshino, M., Ishii, H., Gotthard, E., Kawa, T. and Enomoto, Y., Proceeding of Academic Meeting of The Society of Automotive Engineers of Japan, No. 1-99, pp. 13-16 (1999) [in Japanese].
• 2) Ooishi, Y., Noma, H., Kishi, K., Ueno, N., Akiyama, M. and Kamohara, T., J. Ceram. Soc. Japan, Vol. 113, pp. 700-702 (2005) [in Japanese].
• 3) Stubbs, D. A. and Dutton, R. E., JOM, Vol. 48, pp. 29-31 (1996).
• 4) Kishi, K., Ooishi, Y., Noma, H., Ushijima, E., Ueno, N., Akiyama, M. and Tabaru, T., J. Eur. Ceram. Soc. (in press).
• 5) Ueno, N., Akiyama, M., Ikeda, K. and Tateyama, H., Society of Instrument and Control Engineers, Vol. 38, pp. 427-432 (2002) [in Japanese].

Terms in the title (7)： インコネル ,  作製 ,  配向性 ,  AlN ,  薄膜 ,  高温高圧 ,  応答性