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J-GLOBAL ID：200902264209842210   Reference number：04A0569031

Estimation of plasma density in after-glow region of RF burst plasma based on voltage-current characteristics

RFバーストプラズマにおけるアフタグロー領域中のプラズマ密度の電圧-電流特性による評価

Author (4)： WATANABE S (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  TANAKA T (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  TAKAGI T (Hiroshima Inst. of Technol., Hiroshima, JPN) ,  YUKIMURA K (Doshisha Univ., Kyotanabe, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 186  Issue： 1/2  Page： 53-56  Publication year： Aug. 02, 2004 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ion implantation ,...
Semi thesaurus term： プラズマイオン注入

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JST classification (2)： Plasma diagnostics  (BJ02090L) ,  Irradiational changes in properties and structures in general  (BK16121W)

Terms in the title (6)： RF ,  バースト ,  プラズマ ,  アフタグロー ,  プラズマ密度 ,  評価