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J-GLOBAL ID：200902264223840220   Reference number：08A0286227

Numerical Investigation on Identification of Piezoelectric Strain Constants on Basis of Displacement Response in Piezoelectric Thin Films

圧電薄膜の変位応答に基づく圧電ひずみ定数同定の数値解析的検討

Author (4)： UETSUJI YASUTOMO (大阪工業大学工学部機械工学科) ,  OGAWA RYOTA (大阪工業大学大学院工学研究科) ,  TODA YUSUKE (大阪工業大学大学院工学研究科) ,  TSUCHIYA KAZUYOSHI (東海大学工学部)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 57  Issue： 3  Page： 297-303 (J-STAGE)  Publication year： 2008 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *dielectric thin film ,  piezoelectricity ,  *electrostriction ,  *numerical analysis ,  finite element method ,  *displacement(transfer) ,  *response ,  substrate(plate) ,  silicon ,  film thickness ,  length ,  electrode ,  *measurement
Semi thesaurus term： size

JST classification (1)： Measuring techniques and equipments of dielectric properties  (BM05020Q)

Reference (17)：

• 1) R. Bechmann, “Elastic and piezoelectric constants of alpha-quartz”, Physical Review. Vol.110, pp.1060-1061 (1958).
• 2) H. Ogi, M. Fukunaga and M. Hirao, “Elastic constants, internal friction, and piezoelectric coefficient of α-TeO₂”, Physical Review B, Vol.69, pp.024104-1-024104-8 (2004).
• 3) K. Okazaki, “Ceramic engineering for dielectrics”, p.323 (1992) Gakken-sha Publishing Co., Ltd..
• 4) I. Kanno, H. Kotera and K. Wasa, “Measurement of transverse piezoelectric properties of PZT thin films”, Sensors and Actuators A, Vol.107, pp.68-74 (2003).
• 5) T. Iijima, Y. Hayashi and J. Onagawa, “Ferroelectric and displacement properties of lead zirconate titanate thick films prepared by chemical solution deposition process”, Materials Research Society Symposium Proceedings, Vol.688, pp.343-350 (2002).

Terms in the title (7)： 圧電薄膜 ,  変位応答 ,  圧電 ,  ひずみ ,  定数 ,  同定 ,  数値解析