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J-GLOBAL ID：200902265121352252   Reference number：05A0317641

Integrated and microheater embedded gas sensor array based on the polymer composites dispensed in micromachined wells

微細加工穴に分配された高分子複合体をベースとした集積化およびマイクロヒータ埋め込みガスセンサアレイ

Author (7)： HA S-C (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y S (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  YANG Y (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y J (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  CHO S-M (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  YANG H (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR) ,  KIM Y T (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR)
Material： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sens Actuators B Chem)
Volume： B105  Issue： 2  Page： 549-555  Publication year： Mar. 28, 2005 
JST Material Number： T0967A  ISSN： 0925-4005  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *gas sensor ,...
Semi thesaurus term： polycaprolactam ,...

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JST classification (3)： Analytical instruments  (CC02020S) ,  Electrometric analysis of organic compounds  (CC05034O) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (11)： Methacrylic acid methyl ,  Stearic acid vinyl ,  1-Propanol ,  Chloroform ,  Acetone ,  Benzene ,  Cyclohexane ,  Ethanol ,  Heptane ,  Methanol ,  Toluene

Terms in the title (7)： 微細加工 ,  分配 ,  高分子複合体 ,  集積化 ,  マイクロヒータ ,  埋め込み ,  ガスセンサアレイ