Art

J-GLOBAL ID：200902265570523355   Reference number：06A0223617

Sensitivity enhancement of a silicon micro-machined thermal flow sensor

シリコンマイクロマシニング熱流量センサの感度の強化

Author (3)： ROH Sung-cheoul (Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR) ,  CHOI Yong-moon (Dep. of Fluid Flow, Korea Res. Inst. of Standards and Sci., 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR) ,  KIM Soo-yong (Dep. of Thermal and Fluid System, Korea Inst. of Machinery and Materials, 171 Jang-dong, Yusong-gu, Taejon 305-343, KOR)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 128  Issue： 1  Page： 1-6  Publication year： Mar. 31, 2006 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *flow meter ,...
Semi thesaurus term： heat conduction

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JST classification (1)： Experimental,test,measuring techniques and their apparatuses of fluids  (BC01020K)

Terms in the title (5)： シリコン ,  マイクロマシニング ,  流量センサ ,  感度 ,  強化