Art

J-GLOBAL ID：200902266280004105   Reference number：09A0533828

横方向電圧印加型DCELデバイスの作製における転写とエッチングの導入

Author (3)： MATSUZAWA YUKI (神奈川大 工) ,  SATO TOMOMASA (神奈川大 工) ,  HIRATE TAKASHI (神奈川大 工)
Material： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
Volume： 2009  Issue： エレクトロニクス2  Page： 9  Publication year： Mar. 04, 2009 
JST Material Number： G0508A  ISSN： 1349-1369  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electroluminescence ,  *nanorod ,  membrane and film ,  Carbon ,  zinc oxide ,  composite film ,  *ion etching ,  conductive property ,  transcription ,  carbon film
Semi thesaurus term： *DCEL ,  ZnO ,  カーボン膜 ,  composite film ,  *sputter etching

JST classification (3)： Luminescence of inorganic compounds  (BM08093J) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 横方向 ,  電圧印加 ,  作製 ,  転写 ,  エッチング