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J-GLOBAL ID：200902268760686225   Reference number：09A0214434

New Emissive Probe Measurements of Electron Temperature in Two Modes of Radio-Frequency Plasmas

無線周波数プラズマの二つのモードにおける電子温度の新しい放射プローブによる測定

Author (2)： KUSABA Kouta (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  SHINDO Haruo (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 48  Issue： 2  Page： 026001.1-026001.6  Publication year： Feb. 25, 2009 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma probe ,  *plasma diagnostics ,  *electron temperature ,  plasma ,  inductively coupled plasma ,  electric potential ,  voltage ,  heating ,  normal distribution ,  *measurement ,  resolving power
Semi thesaurus term： エミッションプローブ ,  RFプラズマ ,  capacitively coupled plasma ,  浮遊電位 ,  電子エネルギー確率関数

JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (12)：

• R. F. Kemp and J. M. Sellen, Jr.: Rev. Sci. Instrum.37(1966)455.
• W. Yao, T. Intrator, and N. Hershkowitz: Rev. Sci. Instrum.56(1985)519.
• C. Forrest and N. Hershkowitz: J. Appl. Phys.60(1986)1295.
• T. Honzawa: Rev. Sci. Instrum.58(1987)401.
• S. Takamura, N. Ohno, M. Y. Ye, and T. Kuwabara: Contrib. Plasma Phys.44(2004)126.

Terms in the title (5)： 無線周波数 ,  プラズマ ,  電子温度 ,  放射 ,  プローブ