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J-GLOBAL ID：200902269804477781   Reference number：05A0493064

自己組織膜テンプレート上へのイットリア薄膜のマイクロパターニング

Author (3)： YAMAGISHI MASAO (名古屋大 大学院) ,  MASUDA YOSHITAKE (名古屋大 大学院) ,  KOMOTO KUNIHITO (名古屋大 大学院)
Material： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
Volume： 2005  Page： 61  Publication year： Mar. 22, 2005 
JST Material Number： X0505A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： self-organizing ,...
Semi thesaurus term： 自己組織膜

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Urea

Terms in the title (5)： 自己組織 ,  テンプレート ,  イットリア ,  薄膜 ,  マイクロパターニング