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J-GLOBAL ID：200902271497087690   Reference number：08A0631747

On-site Determination of Trace Nickel in Liquid Samples for Semiconductor Manufacturing by Highly Sensitive Solid-phase Colorimetry with α-Furil Dioxime

半導体製造工程に用いる液体試料中の痕跡ニッケルの,α-フリルジオキシムを用いる高感度固相比色分析によるオンサイト定量分析

Author (5)： MIZUGUCHI Hitoshi (Graduate School of Sci. and Engineering, Yamagata Univ.) ,  ZHANG Yan-fan (Graduate School of Sci. and Engineering, Yamagata Univ.) ,  ONODERA Hirofumi (Graduate School of Sci. and Engineering, Yamagata Univ.) ,  NISHIZAWA Saori (Graduate School of Sci. and Engineering, Yamagata Univ.) ,  SHIDA Junichi (Graduate School of Sci. and Engineering, Yamagata Univ.)
Material： Chemistry Letters  (Chem Lett)
Volume： 37  Issue： 7  Page： 792-793 (J-STAGE)  Publication year： 2008 
JST Material Number： S0742A  ISSN： 0366-7022  CODEN： CMLTAG  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Nickel ,  trace analysis ,  *colorimetric analysis ,  high sensitivity ,  in-situ test ,  chelate compound ,  filter ,  Adsorption ,  sodium nitrate ,  wafer ,  semiconductor material ,  sodium hydroxide ,  detection limit ,  cellulose acetate ,  ICP-MS analysis ,  interfering ingredient ,  masking ,  etching solution ,  thiosulfate ,  sodium compound ,  *oxygen heterocyclic compound ,  *oxime ,  nickel complex ,  diketone ,  Si wafer
Semi thesaurus term： in situ test

JST classification (2)： Chemical analysis of metals and alloys  (CC07040X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： α-Furildioxime

Reference (11)：

• 1) a) I. Ishida, T. Osakabe, M. Saita, Jpn. Kokai Tokkyo Koho 2008 31,009, 2008.
•  b) M. Inoko, T. Yamashita, Jpn. Kokai Tokkyo Koho 2007 138,233, 2007.
•  c) K. Ando, Y. Hara, M. Hotta, Jpn. Kokai Tokkyo Koho 2005 1,955, 2005.
•  d) S. Miyazaki, Jpn. Kokai Tokkyo Koho 2001 250,807, 2001.
•  e) I. Uchiyama, H. Takamatsu, T. Ajito, Jpn. Kokai Tokkyo Koho 10 310,883, 1998.

Terms in the title (9)： 半導体製造工程 ,  液体試料 ,  痕跡 ,  ニッケル ,  α-フリルジオキシム ,  高感度 ,  固相 ,  比色分析 ,  定量分析