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J-GLOBAL ID：200902272462725967   Reference number：04A0726668

Precise fine patterning by probe anodic oxidation.

プローブ陽極酸化による精密微細加工

Author (5)： KURAMOCHI HIROMI (産業技術総合研 ナノ機能合成プロジェクト) ,  ANDO KAZUNORI (SIIナノテクノロジー) ,  TOKISAKI TAKASHI (産業技術総合研 ナノ機能合成プロジェクト) ,  AKINAGA HIROYUKI (産業技術総合研 ナノ機能合成プロジェクト) ,  YOKOYAMA HIROSHI (産業技術総合研 ナノ機能合成プロジェクト)
Material： 第2回ナノテクノロジー総合シンポジウム講演予稿集 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト 平成16年
Page： 234-235  Publication year： 2004 
JST Material Number： N20041771  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanometer process ,...
Semi thesaurus term： anodic oxidation

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JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Electrochemical processes and equipment in general  (XE02010I)

Terms in the title (3)： プローブ ,  陽極酸化 ,  微細加工