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J-GLOBAL ID：200902272573626364   Reference number：03A0329383

Property of a Thin Zirconia Electrolyte Film Using Solid Oxide Fuel Cell Grown by ECR Plasma CVD Method

マイクロ波プラズマ化学気相合成法による燃料電池用固体電解質薄膜の作製条件の検討

Author (2)： OKAMURA ICHITARO (大阪工大 工) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 46  Issue： 3  Page： 310-313  Publication year： Mar. 20, 2003 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *solid electrolyte fuel cell ,...
Semi thesaurus term： void

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Substance index (2)： Tetrabutoxyzirconium(IV) ,  Acetylacetone

Reference (3)：

• 田川博章. 固体酸化物燃料電池と地球環境. 1998
• 井上. 第40回真空に関する連合講演会. 1999
• 辰. 真空. 1999, 42, 3, 155-158

Terms in the title (7)： マイクロ波プラズマ ,  化学 ,  気相合成法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜 ,  作製条件