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J-GLOBAL ID：200902273077862526   Reference number：04A0271258

Real-time measurement of a thickness of a thin coating by means of sheet laser

シートレーザによる薄い被覆膜の厚みの実時間測定

Author (5)： ISHIKAWA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  YAMANO H (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  ASADA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  IWATA K (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  UEDA M (Fukui Univ., Fukui, JPN)
Material： Optics and Lasers in Engineering  (Opt Lasers Eng)
Volume： 41  Issue： 5  Page： 731-742  Publication year： May. 2004 
JST Material Number： A0602B  ISSN： 0143-8166  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thickness measurement ,...
Semi thesaurus term： シートレーザ

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JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Terms in the title (4)： レーザ ,  被覆膜 ,  厚み ,  実時間測定