Art

J-GLOBAL ID：200902273231353095   Reference number：06A0102797

マイクロ固体レーザーによる微細加工の可能性

Author (4)： TAIRA TAKUNORI (自然科学研究機構 分子科研) ,  MATSUOKA YOSHIHIKO (産業技術総合研) ,  SAKAI HIROSHI (浜松ホトニクス 中研) ,  KAN HIROFUMI (浜松ホトニクス 中研)
Material： レーザ加工学会講演論文集  (Proceedings of the Laser Materials Processing Conference)
Volume： 65th  Page： 183-187  Publication year： Dec. 2005 
JST Material Number： L3079A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *solid-state laser ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0102797&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L3079A") }}

JST classification (3)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Other cutting  (QC02040C)

Terms in the title (4)： マイクロ ,  固体レーザー ,  微細加工 ,  可能性