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J-GLOBAL ID：200902274015360792   Reference number：05A0748359

Control of Periodic Nanostructures Formed on Hard Thin Films with Femtosecond Laser Pulses

フェムト秒レーザーによる硬質薄膜表面のナノ構造形成と制御

Author (3)： YASUMARU NAOKI (福井工高専) ,  MIYAZAKI KENZO (京大 エネルギー理工学研) ,  KIUCHI JUNSUKE (アイテック 研究開発部)
Material： レーザー研究  (レーザー学会誌)
Volume： 33  Issue： 8  Page： 519-524,551  Publication year： Aug. 15, 2005 
JST Material Number： X0335A  ISSN： 0387-0200  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *surface modification ,...
Semi thesaurus term： titanium nitride ,...

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JST classification (2)： Laser irradiation effects and damages  (BK16040S) ,  Other surface treatment  (WC08070F)

Reference (19)：

• 1) J. Bonse, M. Geuß, S. Baudach, H. Sturm, and W. Kautek: Appl. Phys. A 69 (1999) S399.
• 2) J. Bonse, H. Sturm, D. Schmidt, and W. Kautek: Appl. Phys. A 71 (2000) 657.
• 3) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: 特願2002-012391 (2002), 特開2003-211400 (2003).
• 4) 安丸尚樹, 宮崎健創, 木内淳介: レーザー学会第22回年次大会予稿集 (2002年1月) p.105.
• 5) N. Yasumaru, K. Miyazaki, J. Kiuchi, and H. Magara: Technical Digest of lnt. Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2002), Osaka, May, 2002, p.38, Proc. of SPIE 4830 (2003) 521.

Terms in the title (3)： フェムト秒レーザー ,  硬質薄膜 ,  構造形成