Art

J-GLOBAL ID：200902276222933037   Reference number：04A0772870

Drag force flow sensor using micro laser interferometer

超小型レーザー干渉計を使った流体抵抗流れセンサ

Author (4)： YANG Z (Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst., Tokyo, JPN) ,  MATSUMOTO S (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  TSAUR J (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 21st  Page： 291-294  Publication year： Oct. 14, 2004 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fluid flow ,...

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JST classification (1)： Experimental,test,measuring techniques and their apparatuses of fluids  (BC01020K)

Terms in the title (3)： レーザー干渉計 ,  流体抵抗 ,  流れセンサ