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J-GLOBAL ID：200902276286246815   Reference number：03A0407329

Growth of Phase-Controlled Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_y Thin Films Prepared by Off-Axis Sputtering using He Gas

Heガスを用いた軸はずれスパッタリング法で調製した相制御Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_y薄膜の成長

Author (4)： MATSUMOTO K (Tottori Univ., Tottori, JPN) ,  OGURA M (Tottori Univ., Tottori, JPN) ,  KISHIDA S (Tottori Univ., Tottori, JPN) ,  TOKUTAKA H (Tottori Univ., Tottori, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 42  Issue： 5A  Page： 2671-2674  Publication year： May. 15, 2003 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *high temperature superconductor ,...
Semi thesaurus term： electron probe microanalysis ,...

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JST classification (2)： Properties of oxide superconductors  (BM04023I) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (10)：

• 1) H. Watanabe, I. Tsukada, S. Kobayashi, I. Koyama and K. Uchinokura: Appl. Phys. Lett. 63 (1993) 246.
• 2) K. Endo, H. Yamazaki, S. Misawa, S. Yoshida and K. Kajimura: Nature 355 (1992) 327.
• 3) H. Itozaki, K. Higaki, K. Harada, S. Tanaka, S. Yazu and K. Tada: Physica C 162 (1989) 367.
• 4) K. Ohbayashi, T. Ohtsuki, H. Matsushita, H. Nishiwaki, Y. Takai and H. Hayakawa: Appl. Phys. Lett. 64 (1994) 369.
• 5) M. Ohkubo, J. Geerk, G. Linker and O. Meyer: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 2403.

Terms in the title (5)： He ,  スパッタリング法 ,  調製 ,  薄膜 ,  成長