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J-GLOBAL ID：200902278240412241   Reference number：06A0323207

Thin films engineering of indium tin oxide: Large area flat panel displays application

酸化インジウムすずの薄膜エンジニアリング:大面積平面パネルディプレイへの応用

Author (5)： BETZ U. (Dep. for Res. and Dev., UNAXIS Balzers Ltd., P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers, Liechtenstein, DEU) ,  KHARRAZI OLSSON M. (Dep. for Res. and Dev., UNAXIS Balzers Ltd., P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers, Liechtenstein, DEU) ,  MARTHY J. (Dep. for Res. and Dev., UNAXIS Balzers Ltd., P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers, Liechtenstein, DEU) ,  ESCOLA M.f. (Dep. for Res. and Dev., UNAXIS Balzers Ltd., P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers, Liechtenstein, DEU) ,  ATAMNY F. (Dep. for Res. and Dev., UNAXIS Balzers Ltd., P.O. Box 1000, FL-9496 Balzers, Liechtenstein, DEU)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 200  Issue： 20-21  Page： 5751-5759  Publication year： May. 22, 2006 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *indium oxide ,...
Semi thesaurus term： *flat-panel display ,...

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JST classification (2)： Display equipment  (NC06030Q) ,  I/O units  (JC04050U)

Terms in the title (5)： 酸化インジウムすず ,  薄膜 ,  エンジニアリング ,  大面積 ,  応用