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J-GLOBAL ID：200902278838476678   Reference number：05A0194442

Minute Wiring Technology Using Nano-Sized Particles

ナノサイズ微粒子を利用した微細配線技術

Author (2)： NAWAFUNE HIDEMI (甲南大 理工) ,  AKAMATSU KENSUKE (甲南大 理工)
Material： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
Volume： 69  Issue： 2  Page： 179-189  Publication year： Feb. 20, 2005 
JST Material Number： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *multilayer interconnection ,...
Semi thesaurus term： 微細配線技術 ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (65)：

• 1) G. Timp: Nanotechnology, (NTS, 2002).
• 2) C. B. Murray, D. J. Norris and M. G. Bawendi: J. Am. Chem. Soc. 115(1993) 8706-8715.
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• 5) S. Chen and K. Kimura: Langmuir 15(1999) 1075-1082.

Terms in the title (3)： ナノサイズ ,  微粒子 ,  微細配線