Art

J-GLOBAL ID：200902279038749265   Reference number：03A0453352

The laminarization of air bearing in the nano machine

ナノマシンにおける空気軸受けの層流化について FANUC ROBOnano UiA

Author (3)： SAWADA KIYOSHI (ファナック) ,  KAWAI TOMOHIKO (ファナック) ,  EBIHARA KENZO (ファナック)
Material： Fanuc Technical Review  (Fanuc Tech Rev)
Volume： 16  Issue： 1  Page： 1-7  Publication year： May. 2003 
JST Material Number： L2934A  ISSN： 0914-9406  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *machining center ,...

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JST classification (1)： Machining in general  (QC01010O)

Terms in the title (3)： ナノマシン ,  空気軸受け ,  層流