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J-GLOBAL ID：200902279167124301   Reference number：08A0357520

SIMSの微小部深さ方向分析におけるドーパント濃度決定法

Author (2)： SEKI SETSUKO (拓殖大) ,  TAMURA HIFUMI (拓殖大 理工学総合研)
Material： 拓殖大学理工学研究報告  (Bulletin of Science and Engineering, Takushoku University)
Volume： 10  Issue： 1  Page： 41-46  Publication year： Oct. 30, 2007 
JST Material Number： L0516B  ISSN： 0919-8253  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *secondary ion mass spectrometry ,  *microdomain ,  dopant ,  *concentration determination ,  surface ,  instrumental analysis ,  *concentration distribution ,  *depth
Semi thesaurus term： SIMS ,  microdomain ,  concentration determination

JST classification (1)： Other methods of structure determination  (BK01070L)

Terms in the title (6)： SIMS ,  微小 ,  深さ方向 ,  分析 ,  ドーパント ,  濃度決定