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J-GLOBAL ID：200902279513251129   Reference number：08A0070768

電子部品分野における微細加工技術~MEMS,次世代実装~MEMSの最新技術動向

Author (1)： ESASHI MASAYOSHI (東北大 原子分子材料科学高等研究機構)
Material： KEC情報
Issue： 204  Page： 4-9  Publication year： Jan. 01, 2008 
JST Material Number： L0572A  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micro circuit technique ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (20)：

• M. Nagao et. a!.: 2004 SAE World Congress,(2004)
• T. Murakoshi, Y. Endo, S. Nakamura and M. Esashi: Jpn. J. Appli. Phys., 42 (Part 1), 2468(2003)
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• P. V. Loeppert et. al.: Solid-State Sensors Actuators and Microsystems, Workshop, 27(2006)
• T. Tajima, T. Nishiguchi, S. Chiba, A. Morita, M. Abe, K. Tanioka, N. Saito and M. Esashi: Microelectronic Engineering, 67-68, 508(2003)

Terms in the title (5)： 電子部品 ,  微細加工技術 ,  次世代 ,  実装 ,  技術動向