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J-GLOBAL ID：200902281034836494   Reference number：05A0744377

Synthesis of C-Axis-Oriented AlN Thin Films on High-Conducting Layers: Al, Mo, Ti, TiN, and Ni

高電気伝導層上のC軸配向したAlN薄膜の合成: Al,Mo,Ti,TiN,Ni

Author (5)： IRIARTE Gonzalo F. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  BJURSTROEM Johan (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  WESTLINDER Joergen (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  ENGELMARK Fredrik (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  KATARDJIEV Ilia V. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
Material： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control)
Volume： 52  Issue： 7  Page： 1170-1174  Publication year： Jul. 2005 
JST Material Number： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *acoustic resonator ,...

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JST classification (1)： Resonator  (NC04050Y)

Terms in the title (9)： 電気伝導 ,  c軸配向 ,  AlN ,  薄膜 ,  Al ,  Mo ,  Ti ,  TiN ,  Ni