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J-GLOBAL ID：200902281927754968   Reference number：03A0788208

エッチング法による20μmリードピッチCOFテープの開発

Author (3)： CHINDA AKIRA (日立電線 電線工場 開発部) ,  SUGIMOTO HIROSHI (日立電線 電線工場 開発部) ,  KASHIWABARA FUMITAKA (日立電線 電線工場 開発部)
Material： マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  (エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
Volume： 13th  Page： 308-311  Publication year： Oct. 16, 2003 
JST Material Number： X0060A  ISSN： 2434-396X  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *etching ,...
Semi thesaurus term： COFテープ

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Other surface treatment  (WC08070F)

Terms in the title (6)： エッチング ,  リード ,  ピッチ ,  COF ,  テープ ,  開発