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J-GLOBAL ID：200902282869352818   Reference number：06A0605040

Development and Its Applications of Diamond Array Tool Using Silicon Mold (2nd Report)-Fabrication of Machining Cantilever with Arbitrary Tip Shape-

シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報)-任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製-

Author (10)： KAWASEGI NORITAKA (富山大 大学院理工学研究科) ,  FUKASE TATSUYA (富山大 大学院理工学研究科) ,  TAKANO NOBORU (富山大 工) ,  MORITA NOBORU (富山大 工) ,  YAMADA SHIGERU (富山大 工) ,  OYAMA TATSUO (富山大 工) ,  KANDA KAZUTAKA (不二越) ,  TAKANO SHIGETO (不二越) ,  OBATA TSUTOMU (富山県工技セ) ,  ASHIDA KIWAMU (産業技術総合研)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 72  Issue： 8  Page： 1025-1029  Publication year： Aug. 05, 2006 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *diamond tool ,...
Semi thesaurus term： *cantilever

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JST classification (2)： Grinding  (QC03000R) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (23)：

• 1) G. Binnig, H. Rohrer, Ch. Gerber and E. Weibel: Surface studies by scanning tunneling microscopy, Phys. Rev. Lett., 49 (1982) 57.
• 2) G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber: Atomic force microscope, Phys. Rev. Lett., 56 (1986) 930.
• 3) D. M. Eigler and E. K. Schweizer: Positioning single atoms with a scanning tunneling microscope, Nature, 344 (1990) 524.
• 4) R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong and C. A. Mirkin: "Dip-pen" nanolithography, Science, 283 (1999) 661.
• 5) K. Ashida, N. Morita and Y. Yoshida: Study on nanomachining process using mechanism of a friction force microscope, JSME Int. J., Ser. C, 44 (2001) 244.

Terms in the title (10)： シリコン ,  モールド ,  ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  開発 ,  応用 ,  切れ刃 ,  カンチレバー ,  作製