Art

J-GLOBAL ID：200902286090931019   Reference number：06A0634607

A MEMS-based variable micro-lens system

MEMSを用いた可変マイクロレンズシステム

Author (3)： KROGMANN F (Univ. Freiburg, DEU) ,  MOENCH W (Univ. Freiburg, DEU) ,  ZAPPE H (Univ. Freiburg, DEU)
Material： Journal of Optics. A. Pure and Applied Optics  (J Opt A)
Volume： 8  Issue： 7  Page： S330-S336  Publication year： Jul. 2006 
JST Material Number： D0538C  ISSN： 1464-4258  CODEN： JOAOF8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microlens ,...
Semi thesaurus term： wettability

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JST classification (2)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： MEMS ,  可変 ,  マイクロレンズ