Art

J-GLOBAL ID：200902286460724190   Reference number：05A0515393

Pre-cracking technique for fracture mechanics experiments along interface between thin film and substrate

薄膜と基材の間の界面に沿った破壊力学実験のための予亀裂手法

Author (3)： HIRAKATA Hiroyuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KITAMURA Takayuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KUSANO Takato (Hitachi Home and Life Solutions, Inc., Tochigi, JPN)
Material： Engineering Fracture Mechanics  (Eng Fract Mech)
Volume： 72  Issue： 12  Page： 1892-1904  Publication year： May. 20, 2005 
JST Material Number： A0119A  ISSN： 0013-7944  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thin film ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： 薄膜 ,  界面 ,  破壊力学 ,  実験 ,  予亀裂 ,  手法