Art

J-GLOBAL ID：200902286965811489   Reference number：08A0875258

Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection

超高感度応力検出のための圧電ナノカンチレバーの製作

Author (3)： JIANG Y G (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Measurement Science and Technology  (Meas Sci Technol)
Volume： 19  Issue： 8  Page： 084011,1-5  Publication year： Aug. 2008 
JST Material Number： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： high sensitivity ,  *stress measurement ,  *piezoelectricity ,  *cantilever beam ,  dopant ,  diffusion in solid ,  silicon ,  boron ,  nanostructure ,  electron beam lithography ,  atomic beam ,  dry etching ,  RIE ,  *measurement ,  beam
Semi thesaurus term： cantilever ,  ナノカンチレバ

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Terms in the title (5)： 高感度 ,  応力 ,  圧電 ,  ナノカンチレバー ,  製作