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J-GLOBAL ID：200902288476969340   Reference number：09A0809173

Finite Element Analysis of Sensitivity of Frequency-Change Force Sensor

周波数変化力センサの感度の有限要素解析

Author (3)： SUGAWARA Sumio (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN) ,  YAMAKAWA Masaki (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN) ,  KUDO Subaru (Ishinomaki Senshu Univ., Miyagi, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 48  Issue： 7,Issue 2  Page： 07GF04.1-07GF04.5  Publication year： Jul. 25, 2009 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *sensor ,  finite element method ,  displacement (transfer) ,  resonance frequency ,  *MEMS ,  frequency dependence ,  oscillation mode ,  *force sensor ,  *Finite Element Analysis

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Reference (9)：

• S. Sugawara, J. Takahashi, and Y. Tomikawa: Jpn. J. Appl. Phys.41(2002)3433.
• L. Weisbond: US Patent 4, 479, 385(1984).
• T. Koitabashi, S. Kudoh, S. Okada, and Y. Tomikawa: Jpn. J. Appl. Phys.41(2002)3403.
• J. Takahashi, S. Sugawara, and J. Terada: Jpn. J. Appl. Phys.42(2003)3124.
• J. Takahashi and S. Sugawara: Jpn. J. Appl. Phys.43(2004)3035.

Terms in the title (4)： 周波数変化 ,  力センサ ,  感度 ,  有限要素解析