Art

J-GLOBAL ID：200902291769308080   Reference number：03A0778886

Measurement of thickness of a thin film by means of laser interference at many incident angles

種々の入射角のレーザ干渉法による薄膜の厚み測定

Author (6)： ISHIKAWA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  YAMANO H (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  KAGAWA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  ASADA K (Fukui Univ., Fukui, JPN) ,  IWATA K (Univ. Osaka Prefecture, Osaka, JPN) ,  UEDA M (Fukui Univ., Fukui, JPN)
Material： Optics and Lasers in Engineering  (Opt Lasers Eng)
Volume： 41  Issue： 1  Page： 19-29  Publication year： Jan. 2004 
JST Material Number： A0602B  ISSN： 0143-8166  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical interferometry ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0778886&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=A0602B") }}

JST classification (1)： Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Terms in the title (4)： 入射角 ,  レーザ干渉法 ,  薄膜 ,  厚み測定