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J-GLOBAL ID：200902292251155804   Reference number：04A0910783

マイクロ波プラズマCVDによる単結晶ダイヤモンドの高速成長 II

Author (4)： MOKUNO YOSHIAKI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  CHAYAHARA AKIYOSHI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  HORINO YUJI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ) ,  FUJIMORI NAOJI (産業技術総合研 ダイヤモンド研究セ)
Material： ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
Volume： 18th  Page： 48-49  Publication year： Nov. 29, 2004 
JST Material Number： L1241A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： microwave ,...

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JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Crystal growth of other inorganic compounds  (BK13060T)

Terms in the title (3)： マイクロ波プラズマCVD ,  単結晶ダイヤモンド ,  成長