Art

J-GLOBAL ID：200902292957109775   Reference number：04A0685302

High Thermal Conductivity of AlN Substrate and Application

広がりを見せる窒化アルミニウム(AlN)AlN基板の高熱伝導化と応用製品

Author (2)： SHIRAI TAKAO (東芝マテリアル) ,  MIYASHITA KIMIYA (東芝マテリアル)
Material： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
Volume： 39  Issue： 9  Page： 684-687  Publication year： Sep. 01, 2004 
JST Material Number： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *aluminum nitride ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (5)： 広がり ,  窒化アルミニウム ,  AlN ,  熱伝導 ,  応用