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J-GLOBAL ID：200902294162141908   Reference number：07A0115056

The perspective on next generation chemical technology. Environmental harmony type process of developing in the vacuum-ultraviolet light. - Development of the light source in the vacuum-ultraviolet light region and development of the applied technology. -

次世代化学技術の展望 真空紫外光で拓く環境調和型プロセス-真空紫外光領域における光源の開発とその応用技術の開発-

Author (3)： KATTO MASAHITO (宮崎大 産学連携支援セ) ,  YOKOTANI ATSUSHI (宮崎大 工) ,  KUBODERA SHOICHI (宮崎大 工)
Material： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
Volume： 52  Issue： 1  Page： 66-71  Publication year： Jan. 01, 2007 
JST Material Number： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： science and technology ,...
Semi thesaurus term： 化学技術 ,...

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JST classification (1)： Gas lasers  (BD04040E)

Terms in the title (7)： 次世代 ,  化学技術 ,  展望 ,  環境調和型 ,  プロセス ,  開発 ,  応用